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著录信息

  • 专利名称：一种高纯硅料烘干装置及烘干方法
  • 专利类型：发明
  • 申请号：CN201210315489.2
  • 公开(公告)号：CN102818439B
  • 申请日：20120830
  • 公开(公告)日：20150114
  • 申请人：西安隆基硅材料股份有限公司,无锡隆基硅材料有限公司,宁夏隆基硅材料有限公司,银川隆基硅材料有限公司
  • 发明人：赵可武,李淑丽,宋涵,吴向龙,尹辰
  • 申请人地址：710100 陕西省西安市长安区航天中路388号
  • 申请人区域代码：CN610116
  • 专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司,无锡隆基硅材料有限公司,宁夏隆基硅材料有限公司,银川隆基硅材料有限公司
  • 洛迦诺分类：无
  • IPC：F26B9/10,F26B25/08,F26B7/00
  • 优先权：无
  • 专利代理机构：西安弘理专利事务所 61214
  • 代理人：罗笛
  • 审查员：王爽
  • 国际申请：无
  • 国际公开(公告)：无
  • 进入国家日期：无
  • 分案申请：无

关键词

高纯硅,烘盘,连通,循环加热装置,抽真空装置,烘干,侧壁,齿轨,支架,导热介质出口,导热介质进口,真空泵抽真空,装置及方法,烘干方法,烘干效果,烘干效率,烘干装置,控制装置,密封箱体,实时检测,抽真空,带密封,真空表,内腔,密封,验证,连接
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